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MIYUKI 美幸辉 介绍

MIYUKI 美幸辉
日本精密真空控制品牌,主打伺服真空蝶阀、气动蝶阀、真空闸阀、真空压力控制器,高洁净低发尘,做腔体压力闭环调压,对标 MKS、VAT。

产品种类:
伺服电动真空调节蝶阀(GAR/BAZ/BAR 系列):伺服电机直驱,可无级调节开度,带断电抱闸;KF/CF/ISO 法兰,DN25‑DN250。
气动真空蝶阀(B/BH 系列):气动开关 / 两段缓抽款,实现慢抽破空,抑制气流冲击颗粒扬起,大口径可选。
真空闸阀(GH/G 系列):气动闸阀,大通流,用于主抽管路通断,GH 系列支持二段开度限流。
真空压力控制器(MG 系列 MGCS‑11):采集真空计信号,PID 闭环驱动阀门,RS485 对接 PLC / 上位机,可设置工艺压力曲线、故障报警输出。
 
用途:
伺服调节蝶阀:微米级开度调节,闭环稳压,稳定腔体工艺压力,保障镀膜、刻蚀膜层均匀;断电锁阀,防止腔体泄压报废工件;小开度也能稳定控制,低颗粒析出。
气动蝶阀:腔体抽气、破空,BH 两段缓抽机型,粗抽阶段小开度慢抽,避免气流冲击扬起腔内粉尘微粒,保护基板 / 晶圆。
真空闸阀:大管路通断隔离,用于主抽气路大通量开关,适配大型腔体。
压力控制器:整套 APC 自动压力控制系统,实现真空压力自动管控,对接设备整机自动化。

日本官方网站:https://www.miyuki‑h.co.jp