超声波流量计按测量原理分，它有传播时间法和多普勒频移法两种类型，其中传播时间法又分为时间差法、相位差法、频率差法三种。目前，绝大多数采用时间差法，相位差法已不使用，频率差法用的也非常少。烟气流量测量中使用的超声波流量计均采用时间差法。
超声波流量计是一种线式测量，得到线平均流速而不是面平均流速。超声波流速仪应用在圆形烟道时，其测量的线平均流速可视为面平均流速。用于矩形烟道时，需要采用速度场系数或线性相关测量，把烟气的线平均流速转换为面平均流速。超声波技术能够测量的烟气流速*低可达0.03m/s。
超声波流量计是一种跨烟道的测量系统，不像插入式测量探头，易收到烟气的腐蚀和烟尘的沾污影响，但超声波传感器的发射/接收器表面也会收到烟尘的沾附，需要用清洁空气吹扫传感器的表面，保持清洁。超声波流量计大多具有运行过程中可自动校准，并使用净化空气保护传感器的功能，使其免受烟气腐蚀，介质温度允许达到288℃，特殊可达到260℃。超声波流量计运行稳定、精度较高、维护量小、价格较贵。