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离子泵的工作原理

离子泵的工作原理
离子泵的工作原理是通过电场和热碰撞将气体分子离子化,然后通过静电吸附将之排除。具体过程如下:
1.在离子源中,利用电场和热碰撞将气体分子离子化。
2.产生的离子会被静电吸附到离子泵的收集极表面,从而完成气体排除的过程。
3.在排除过程中,离子泵中的其他气体会在外部系统中通过低压气体泵排出。
4.随着气体分子周围的真空度的提高,排气速度将一直加快,直到达到目标真空度和气体排出量。