蚀刻设备是制造电子器件的设备。具体用途如下。
集成电路，例如 PC 的 CPU
印制板
液晶显示面板
等离子显示面板
光刻法用于制造这些。光刻是一种通过将光照射到感光材料表面来处理物体表面的技术，而蚀刻是光刻的一种工艺。
在蚀刻过程中，晶圆上氧化膜上涂有抗蚀剂的区域保留下来，而没有抗蚀剂的区域则剥落。凹凸不平，形成图案。