半导体检查设备是在半导体制造过程中进行检查的设备的总称。
在半导体制造中，检查在晶圆制造阶段、电路图案形成阶段和封装阶段进行。各种设备中使用的许多半导体芯片是功能的基础，不仅需要保证正常运行，而且需要保证设备运行的**性。
当今集成度*高的半导体芯片在单个芯片上有数百亿个晶体管，为了保证数十年的正常运行，从设计到制造都需要进行充分的测试。