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什么是洁净工作台?

洁净工作台是一种封闭的工作台,可保持清洁度,防止灰尘和空气中微生物的污染。通过让经过过滤器净化后的空气撞击目标物体,可以实现高度的局部清洁。

它由高性能空气过滤器(如HEPA或ULPA过滤器)、发射器、照明等组成。 JIS B9922 规定了配置、性能和测试方法。此外,JIS C 0903中还规定了防爆洁净工作台。