三维形状测量机是一种可以测量亚微米级表面形状的仪器。
亚微米是低于微米的级别，1微米是1/1,000毫米。 3D 形状测量机能够捕捉零件的三维形状并执行各种测量。
它还用于测量电子元件板和半导体的表面粗糙度、高度和厚度。其特点是速度快、分辨率高、精度高。
此外，根据安装方法和测量方法的不同，三维形状测量机有多种类型。按安装方式有固定式、便携式等，按测量方式有接触式、非接触式，有激光跟踪仪、测绘仪等。