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如何计算蒸镀时需要的真空度

气体分子的运动:气体分子的平均速度:v=(8kT/πm)1/2,由此得出:气体分子的质量数越大,其分子的平均速度越小。

分子流强度用J表示,则单位时间内通过单位面积上的分子数可表示为:J=(kT/2πm)1/2=1/4(nV)

n为单位面积上的分子数,v为分子的平均速度。


准备:一般的固体物质,其单位面积(1cm2)上的分子数大约为1014。1Pa=1N/m2;1atm,即一个标准大气压=760mm的Hg柱产生的压强=101325Pa;1Bar=750mm水银柱产生的压强;Torr=1mm的Hg柱产生的压强;

真空可大致分为四个:低真空(100-0.1Pa),中真空(0.1-10-4Pa),高真空(10-5-10-7Pa),超高真空(<10-7Pa)。其对应的气体密度以4-5个次幂下降,但其对应的气体分子平均自由程却以4-5次幂上升。