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真空泵的发展历程

真空泵*早是 1654 年由奥托・冯・居里克发明的,后来波义耳和胡克进行了大量的优化设计。1682 年,波义耳提出了双缸泵,1705 年豪克斯比制造出了进一步改进的双缸泵。19 世纪末,弗勒斯引入了气缸油泵。1912 年,盖德发明了分子泵,1915 年,盖德利用汞蒸汽射流携带的气体分子来实现高真空,这些蒸汽流泵随后得到了大规模的发展。