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什么是干式真空泵

干式真空泵=无油干式真空泵(Dry Vacuum Pump)
泵腔内部不使用润滑油密封、不依靠油液做腔体润滑密封,靠机械转子间隙密闭抽气,全程无油、无油气返流,以此获得洁净真空;区别于传统油封旋片泵(用油液密封,容易喷油、油蒸汽污染腔体)。
半导体、镀膜、锂电、精密实验室**就是干泵,荏原 EV‑SA/EV‑X/EV‑M/EST 全系列都属于干式泵。