変換素子にひずみゲージを使用して、センサ内部でブリッジを構成した小型薄肉構造をした圧力センサです。スパッタリングとフォトリソグラフィ技術による薄膜ひずみゲージをダイヤフラム上に直接形成してあります。取り付けは接着剤を使用して行います。主に気体計測用に開発されたものです。
注1）接液部の材質は銅合金を使用しています。本材質が腐食する恐れのある液体、気体には使用しないでください。 注2）接液部の組立に接着剤を使用しております。有機溶剤（トルエン、ケトン類など）の測定には使用できません。 注3）高温高湿の場所で長時間測定することはできません。 注4）水中で使用できません。