【用途】 オートバルブ式真空チャック専用の真空源装置で、チャック作業面でのワークに対する 大気圧を効果的に維持するため、チャック側を連続的に排気します。
【特長】 排気システム、フィルタ、真空タンク、真空計がコンパクトにセットされています。 コネクター付きなので、真空チャックの制御に必要な真空及び逆噴射の配管接続が容易に行えます。 80kPa（600mmHg）以上の気圧差が連続して得られます。 乾式加工、湿式加工のいずれにも対応します。