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特長 ■高真空での各種実験??開発??生産プロセスに対応。
■空冷式により水配管不要、保守の負担を軽減。
■場所を選ばない100V 電源。
■メインフレーム??ベースにアルミを採用、軽量化を実現。
■使いやすさを追求したコンパクト設計。
ターボ分子ポンプ排気システムタイプ ● MZまたはスクロール型ドライ補助ポンプと組合せてフルドライの排気系に。
● 起動??停止に要する時間が短い。
● 不意の大気導入にも強い構造のターボ分子ポンプを採用。
（注）故意に大気導入を繰返しますと故障の原因となります。
油拡散ポンプ排気システム＜DPS＞タイプ ● より低コストで高真空雰囲気を得られます。
● 三方弁の切替機能により、補助ポンプのみの単独排気運転も可能。
● 保守点検が容易。
タイプ
型 式
TPS-50ZA
TPS-50ZB
TPS-50ZC
TPS-220ZA
TPA-220ZB
TPS-220ZC
ターボ分子ポンプ
50L/s
220L/s
補助ポンプ
DW-60
USW-50N
MZ-2CNT
DW-120
USW-100N
ISP-250C
到達圧力
×10-5Pa Order*1
×10-3Pa Order*1
×10-4Pa Order*1
起動/停止時間
3/3min*2
2.2/3.5min*2
吸気口径
VG-65
VG-100
所要電力（AC）
100V 15A
質量
約51kg
約55kg
約45kg
約56kg
約59kg
約70kg
外形寸法 (W×D×Hmm)
600×400×700
600×400×750
600×400×730
600×400×800
600×400×850
DPS-2-ZA
DPS-2-ZB
DPS-3-ZA
DPS-3-ZB
DPS-4-ZA
DPS-4-ZB
油拡散ポンプ
70L/s
150L/s
250L/s
USW-150N
×10-4Pa Order*3
起動時間
17min*2
22min*2
VF-50
VF-80
VF-100
100V 15A×2*4
約57kg
約60kg
約68kg
約80kg
600×400×935
600×400×995
600×400×1095
600×400×1030
600×400×1130
＊1.ターボ分子ポンプをベーキング??ガス出し後、ポンプヘッドでの値です。 ＊2.起動時間は吸気口閉め切りでの値です。チャンバー容量により時間が異なります。 ＊3.吸気口閉め切りでの値です。 ＊4.補助ポンプとメインポンプ用として、別々の電源プラグ(2本）があります。 ＊お客様の使い勝手??仕様に合わせて、各種オプション部品を組込みセットアップする特注バージョンも製作いたします。