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产品资料

内置膜厚监控器
产品型号:FE-3
简介:

内置膜厚监控器FE-3日本OTSUKA大塚电子内置膜厚监控器FE-3日本OTSUKA大塚电子

内置膜厚监控器  的详细介绍

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特 長

 

  • 分光干渉法を用いた膜厚計
  • 高精度FFT膜厚解析エンジンを搭載(特許 第4834847号)
  • オプティカルファイバーにより自由な測定系の構築が可能
  • 各種製造装置への組み込みが可能
  • リアルタイムでの膜厚測定が可能
  • 遠隔操作、多点測定に対応
  • 長寿命、高安定性の白色LED光源を採用

 

 

測定項目

 

  • 多層膜厚解析

 

 

用 途

 

  • 光学フィルム(ハードコート、ARフィルム、ITOなど)
  • FPD関連(レジスト、SOI、SiO2など)
  • 仕 様
    型式 FE-3/40C FE-3/200I
    全測定方式 分光干渉式
    測定膜厚範囲(nd値) 20 nm ~ 40 μm 3 μm ~ 200 μm
    測定波長範囲 430 nm ~ 650 nm 900 nm ~ 1600 nm
    膜厚精度 ± 0.2 nm 以内 *1 -
    繰り返し精度 0.1 nm 以内 *2 -
    測定時間 0.1 s ~ 10 s 以内
    スポット径 約 φ 1.2 mm
    光源 白色LED ハロゲン
    オプティカルファイバー 投受光用Y型ファイバー 1.5 m ~ 100 m
    寸法、重量 300(W) × 300(D) × 150(H) mm、 約 10 kg
    ソフトウェア ピークバレイ解析、FFT解析、*適化法解析

    *1 VLSI社製膜厚スタンダード(100nm SiO2/Si)の膜厚保証書記載の測定保証値範囲に対して
    *2 VLSI社製膜厚スタンダード(100nm SiO2/Si)の同一ポイント繰り返し測定時における拡張不確かさ(包括係数2.1)