光谱椭偏仪FE-5000S日本OTSUKA大塚电子光谱椭偏仪FE-5000日本OTSUKA大塚电子光谱椭偏仪FE-5000日本OTSUKA大塚电子光谱椭偏仪FE-5000日本OTSUKA大塚电子光谱椭偏仪FE-5000日本OTSUKA大塚电子光谱椭偏仪FE-5000日本OTSUKA大塚电子
試料にs波とp波を含む直線偏光を入射し、その反射光の楕円偏光を測定します。s波とp波は位相と振幅が独立に変化して、試料に依存した2種類の偏光の変換パラメータであるp波とs波の反射率の比tanψおよび位相差Δが得られます。
*1 偏光子駆動可能、不感帯に有効な位相差板着脱可能です。 *2 短軸・角度により異なります。 *3 微小スポット対応（オプション） *4 VLSIスタンダードSiO2膜（100nm）を用いた場合の値です。 *5 この波長範囲内で選択可能です。 *6 測定波長により光源が異なります。 *7 自動ステージ選択時の値です。