主营产品: 光学设备、电子计测仪器、科学仪器、机械加工设备、环境试验设备、PC周边用品、作业工具用品、物流保管用品、化学用品、FA自动化
产品中心
DNL
ETA
 

产品资料

450mm晶圆厚度检测设备
产品型号:SF-450M
简介:

450mm晶圆厚度检测设备SF-450M日本OTSUKA大塚电子450mm晶圆厚度检测设备SF-450M日本OTSUKA大塚电子

450mm晶圆厚度检测设备  的详细介绍
450mm晶圆厚度检测设备SF-450M日本OTSUKA大塚电子450mm晶圆厚度检测设备SF-450M日本OTSUKA大塚电子450mm晶圆厚度检测设备SF-450M日本OTSUKA大塚电子450mm晶圆厚度检测设备SF-450M日本OTSUKA大塚电子450mm晶圆厚度检测设备SF-450M日本OTSUKA大塚电子450mm晶圆厚度检测设备SF-450M日本OTSUKA大塚电子
特 長
  • 450mmウェーハまでの厚み測定
  • 0.5~1600μmのSi厚み測定
  • 画像認識によるオリフラ・ノッチ角度検出精度5秒以内
  • 分光干渉法により非接触・非破壊で高い再現性を実現
  • 貼り合せウェーハの薄膜ボンディング、Si厚み、サポート基板のトータル厚み測定
  • 多層厚み測定が可能
  • オリフラ、ノッチの画像認識によるウェーハ面内高精度位置決めを実現

 

測定項目
  • 厚み測定
  • 膜厚解析

 

仕 様

型式 SF-450M
光学系 光学プローブ
厚み測定範囲 0.5 ~ 1600μm
可動軸 XY
測定径 φ6、φ9、φ500μm
ステージ面サイズ φ450mm
可動軸ストローク XY軸:±225㎜
ウェーハサイズ 450 mm以下
計測時間 61 ポイント / 120s 以下 * 
*大駆動速度 140 mm /s
ステージ分解能 0.1 μm以下
繰り返し位置決め精度 1 μm以下
その他機能  画像処理によるオリフラ及びノッチ合わせ機能
吸着 あり
特注 アライメント対応、ローダ対応

* 高精度位置決めモードの場合