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产品资料

微细形状测定机
产品型号:ET4000A
简介:

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微细形状测定机  的详细介绍
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微细形状测定机
ET4000系列
· 高精度.安定性.机能性**适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。
· 是多机能的全自动微细形状测定机,针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。
· ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。
· ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。
· ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机。
· ET4300一适合12"样品测量。
· 各机型详细参数请与区域销售联系。
产品特点
*大试片尺寸 210×210mm~300×400mm
重现性 1σ 0.5nm以内
测定范围 Z:100µm X:100~305mm (Y移动量:150~400mm)
分解能 Z:0.1nm X:0.1µm
测定力
0.5µN~500µN (0.05mg-50mg)

轮廓形状测定机

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真圆度圆柱度测定机

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