在保持 FUD-1 Model-13 的优点(例如可维护性和高精度在线测量)的同时,该型号具有用于半导体制造过程的小单元型发射器。
FUD-1 Model-13 *以下为配置示例
可实时测量浓度,易于构建浓度控制系统。
标配模拟 DC4 至 20mA 和数字 RS232C
标配测量误差输出和报警输出
标配自诊断功能和错误信息显示
小巧轻便的电池型变送器可直接安装在线路上
接液部分材料采用PFA,小输出设计对化学品无影响
可以进行高精度的连续测量
免维护,无需定期调整或校准
安装方便,安装时无需进行各种调整
通过实时输出轻松反馈过程
CMP工艺中的CMP浆料或氧化剂浓度管理等。
稀释过程中各种化学品的浓度管理(H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等)
清洗过程中的清洗液浓度管理(HF、NH4OH、KOH、IPA等)
蚀刻过程中的蚀刻液浓度管理(HF、H2SO4等)