|
型号*1
|
SDX600
|
SDT600
|
SDX1200
|
SDT1200
|
SDX1800
|
SDT1800
|
SDH3000 *5
|
SDH6000 *5
|
*大抽速
[L/min] *2
|
10,000
|
18,000
|
19,000
|
30,000
|
50,000
|
100,000
|
极限压力
[Pa] *2
|
0.5
|
0.3
|
0.5
|
|
N2流量[SLM]
|
0 到 80
|
0 到 120
|
|
冷却水流量 [L/min]
|
3.0
|
4.0
|
3.0
|
4.0
|
3.0
|
4.0
|
4.0
|
4.0
|
|
功耗 [kW] *3
|
1.5
|
3.0
|
1.65
|
3.15
|
2.1
|
3.3
|
3.3
|
3.7
|
|
外形尺寸 [mm] *4
|
L.
|
695
|
695
|
850
|
910
|
1050
|
|
W。
|
285
|
285
|
380
|
420
|
515
|
|
H。
|
850
|
850
|
950
|
900
|
950
|
*1) SDX Energy-saving/Hirsh process compatible machine, SDT/SDH Process resistant/Super harsh process compatible machine
*2)不使用N2吹扫时的值。*3) *终运行期间的近似功耗。*4) 包装尺寸。如需详细尺寸，请索取外部图纸。
*5) 我们拥有一系列具有出色工艺耐受性的产品，因此请联系我们的销售代表。
规格和型号名称如有更改，恕不另行通知。*请联系我们了解兼容的气体类型。