KISHIYAMA柏山工业SD系列干式真空泵 SDL3600
拥有可充分应对晶片、FPD的大口径化，通过组合，可实现大排气量化，可满足超过15万L/min的要求。 通过高速排气缩短行程时间，通过大型负载锁定室的高速排气，缩短节拍时间。 拥有符合各种要求规格的产品规格 以行业标准和设计设为优先的高可靠性设计 这是您可以信赖的真空技术,拥有多元化的产品组以及科技力量，在广泛的现代领域受到客户的高度信赖
主要型号
*1. 不使用N 2吹扫时的值。 *请咨询与海外标准的兼容性。此外，规格和型号名称如有更改，恕不另行通知。 *根据泵的配置，可能会提供其他型号。详情请联系我们的销售部门。
排气性能曲线
*排气性能曲线会根据组合而变化。