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产品资料

KISHIYAMA柏山工业MU-P系列干式真空泵
产品型号:MU20N18P
简介:

具有高工艺的节能泵 从轻负载进行蚀刻,可用于各种用途,包括CVD 拥有符合各种要求规格的产品规格 以行业标准和设计设为优先的高可靠性设计 这是您可以信赖的真空技术,拥有多元化的产品组以及科技力量,在广泛的现代领域受到客户的高度信赖

KISHIYAMA柏山工业MU-P系列干式真空泵  的详细介绍

KISHIYAMA柏山工业MU-P系列干式真空泵  MU20N18P

KISHIYAMA柏山工业MU-P系列干式真空泵  MU20N18P

KISHIYAMA柏山工业MU-P系列干式真空泵  MU20N18P



具有高工艺的节能泵
从轻负载进行蚀刻,可用于各种用途,包括CVD
拥有符合各种要求规格的产品规格
以行业标准和设计设为优先的高可靠性设计
这是您可以信赖的真空技术,拥有多元化的产品组以及科技力量,在广泛的现代领域受到客户的高度信赖




主要型号


规格/型号 MU100P/H MU180P/H MU300P/H MU600P/H MU1218P/H MU20N18P/H MU30N18P/H
极限抽速
[L/min] *2
1,660 3,000 5,000 10,000 20,000 30,000 50,000
极限压力
[Pa] *2
3.0 5.0 0.5
电源电压
(50/60Hz)
三相AC200-220V *3
功耗
[kW] *4
0.7 1.0 0.9 0.95 1.4 1.5 1.6
外形尺寸 [mm] L×W×H *5 630×350×360 715×360×408 630×350×520 870×380×751 1000×450×950
质量 [kg] 70 130 110 130 280 410 410


*1. 关于使用目的,请事先与我们联系。*2.不使用N 2吹扫时的值。*3. 关于本电源以外的要求,请另行与我们联系。
*4. 结束运行时的近似功耗。当支持HOT-N 2时 +0.2 kW 。*5. 包装尺寸。如需详细尺寸,请索取外部图纸。
*请咨询与海外标准的兼容性。此外,规格和型号名称如有更改,恕不另行通知。
*请联系我们获取大排量泵。




排气性能曲线

排气性能曲线