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产品资料

高纯载气压力调节器
产品型号:EX-1000mkⅡ-P
简介:

CHIYODA千代田精机压力调节器EX-1000mkⅡ-P

高纯载气压力调节器  的详细介绍
半导体用特殊材料ガス、高纯度/超高纯度キャリアガス用圧力调整器
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エクセレント・メガ・シリーズEX-M-700、EX-M-1000、EX-M-4000(电解研磨品・自力式)
1次圧力:3.0MPa以下/调整圧力0.1~1.0MPa、*大流量:450ℓ、2000ℓ、5000ℓ/min・Air
Heリーク値:5X10 -11Pa・m3/sec.以下
・EX-M-700
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・EX-M-1000
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・EX-M-4000
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エクセレント・マークⅡシリーズEX-700mkⅡ-G1、G2/EX-1000mkⅡ-G1、G2/EX-4000mkⅡ-G1、G2(自力式)
1次圧力:3.0MPa以下/调整圧力0.1~1.0MPa、*大流量:450ℓ、2000ℓ、5000ℓ/min・Air
Heリーク値:1X10 -8/-7/-6Pa・m3/sec.以下
・EX-700mkⅡ
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・EX-1000mkⅡ
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・EX-4000mkⅡ
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エクセレント・マークⅡシリーズEX-1000mkⅡ-P-G1、G2/EX-4000mkⅡ-P-G1、G2(パイロット式)
1次圧力:3.0MPa以下/调整圧力0.1~1.0MPa、*大流量:2000ℓ、5000ℓ/min・Air
Heリーク値:1X10 -7/-6Pa・m3/sec.以下
・EX-1000mkⅡ-P
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・EX-4000mkⅡ-P
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