通过用传感器测量基板上的应变，可以实时测量镀层的内应力。
可以在一次测量中测量每个电镀时间（膜厚）的应力。还可以测量在已经镀覆的膜上再次进行镀覆时的应力。可以测量传统应力计无法检测到的微小应力。将专用应力计板插入精密电镀电源YPP系列的插槽中。
特征
● 符合JIS H8626标准。
● 甚至可以测量微弱的压力。适用于测量薄膜、晶圆等弱产品。（对于0.5μm以上的膜厚，可以进行准确的测量）
● 可以测量其他方法无法测量的初始应力。
● 适用于精细零件。
● 传感器获得的数据立即输入连接电源的PC，PC自动计算应力值，无需任何计算。此外，使用计算机实时显示和累积测量的数据。
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镀膜应力测量方法
电源和压力测量板规格
输入电压
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AC100~200V±10%（50/60Hz±5%）
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输出电压/输出电流
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DC0~15V/0~10A
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*小分辨率
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1mA/10mV/0.1mC
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温控功能
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1KW（ON/OFF控制/PID控制）
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体重
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8.8公斤
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兼容操作系统
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兼容Windows8,10
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产品编号
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产品名称
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件数
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B-72-SG-P01W
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应变式精密应力计水箱（MODEL-w）
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1件
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B-72-SG-P02
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应变片式精密应力计夹具架（带阳极背）
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1套
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B-72-SG-P03-1
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包含 5 个应变片式精密应力计测试件（铜）
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1套
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B-72-SG-P04
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应变式精密应力计试件保温管
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1件
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B-50-KTSG121513
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不锈钢G型紧固件（宽12mm x 15φ13）
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1件
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B-72-SG-P06
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应变片式精密应力计用阳极板组
（磷铜、镍、SK镍、高纯锡（三菱电解锡）各1个）
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一对
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B-58WJB
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WJB型赫尔电池温度保险丝加热器（AC100V，100W）
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一
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B-72-SG-P07
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应变片式精密应力计用气管
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1件
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B-57A
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赫尔槽气泵A（AC100V）
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1件
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B-62A
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搅拌器（带固定支架）（兼容 Micro Barrel、Smart Hull Cell 和 Smart Cell）
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1套
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B-93-YTC-P04
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YTC、YPP温度传感器（短）总长190mm
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1件
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B-93-YTC-P02
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温度调节器YTC用温度传感器限位器（L型）
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1件
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A-52-P18
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空气过滤器
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1件
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A-57-15100-1B
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应变式精密应力计板
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1 单位
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A-57-15100WA-J
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晶圆精密电镀电源YPP15100WA-J（1mA至10A）
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一
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A-57-15031WA-J
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超精密电镀电源YPP15031WA-J（10μA至3A）
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*产品编号的末尾根据套件中包含的电源而有所不同。
YPP15100WA 套装配电源：B-72WJ-SG-100W
YPP15031WA 套装配电源：B-72WJ-SG-031W