通过用传感器测量基板上的应变,可以实时测量镀层的内应力。
可以在一次测量中测量每个电镀时间(膜厚)的应力。还可以测量在已经镀覆的膜上再次进行镀覆时的应力。可以测量传统应力计无法检测到的微小应力。将专用应力计板插入精密电镀电源YPP系列的插槽中。
特征
● 符合JIS H8626标准。
● 甚至可以测量微弱的压力。适用于测量薄膜、晶圆等弱产品。(对于0.5μm以上的膜厚,可以进行准确的测量)
● 可以测量其他方法无法测量的初始应力。
● 适用于精细零件。
● 传感器获得的数据立即输入连接电源的PC,PC自动计算应力值,无需任何计算。此外,使用计算机实时显示和累积测量的数据。
相关论文
镀膜应力测量方法
电源和压力测量板规格
输入电压
|
AC100~200V±10%(50/60Hz±5%)
|
输出电压/输出电流
|
DC0~15V/0~10A
|
*小分辨率
|
1mA/10mV/0.1mC
|
温控功能
|
1KW(ON/OFF控制/PID控制)
|
体重
|
8.8公斤
|
兼容操作系统
|
兼容Windows8,10
|
产品编号
|
产品名称
|
件数
|
B-72-SG-P01W
|
应变式精密应力计水箱(MODEL-w)
|
1件
|
B-72-SG-P02
|
应变片式精密应力计夹具架(带阳极背)
|
1套
|
B-72-SG-P03-1
|
包含 5 个应变片式精密应力计测试件(铜)
|
1套
|
B-72-SG-P04
|
应变式精密应力计试件保温管
|
1件
|
B-50-KTSG121513
|
不锈钢G型紧固件(宽12mm x 15φ13)
|
1件
|
B-72-SG-P06
|
应变片式精密应力计用阳极板组
(磷铜、镍、SK镍、高纯锡(三菱电解锡)各1个)
|
一对
|
B-58WJB
|
WJB型赫尔电池温度保险丝加热器(AC100V,100W)
|
一
|
B-72-SG-P07
|
应变片式精密应力计用气管
|
1件
|
B-57A
|
赫尔槽气泵A(AC100V)
|
1件
|
B-62A
|
搅拌器(带固定支架)(兼容 Micro Barrel、Smart Hull Cell 和 Smart Cell)
|
1套
|
B-93-YTC-P04
|
YTC、YPP温度传感器(短)总长190mm
|
1件
|
B-93-YTC-P02
|
温度调节器YTC用温度传感器限位器(L型)
|
1件
|
A-52-P18
|
空气过滤器
|
1件
|
A-57-15100-1B
|
应变式精密应力计板
|
1 单位
|
A-57-15100WA-J
|
晶圆精密电镀电源YPP15100WA-J(1mA至10A)
|
一
|
A-57-15031WA-J
|
超精密电镀电源YPP15031WA-J(10μA至3A)
|
*产品编号的末尾根据套件中包含的电源而有所不同。
YPP15100WA 套装配电源:B-72WJ-SG-100W
YPP15031WA 套装配电源:B-72WJ-SG-031W