特点
波长适宜:特别开发了 436nm、405nm 和 365nm 三种紫外线波长,能有效利用这些波长进行光刻等作业,是一种具有长寿命和稳定辐照度的高强度光源。
接近点光源:弧度尺寸非常接近点光源,容易漫射,可产生均匀、平行的光线,能*大限度发挥光学系统性能。
功率范围广:属于超高压汞灯,功率范围在 100W-35kW,产品系列丰富,可根据不同的生产需求选择合适的功率等级。
高照度:能够满足提高现有设备生产效率的需求,使用该高强度灯可显著提升生产效率。
应用领域
半导体制造:用于半导体回路形成,在芯片制造过程中,如光刻环节,可将设计好的电路图案转移到半导体晶圆上,对精度和光源稳定性要求极高,该灯管能满足这些要求,有助于提高芯片制造的良品率和生产效率。
液晶显示(LCD)制造:在液晶回路形成过程中发挥作用,例如用于液晶面板的光刻工艺,将透明导电电极、像素电极等图案化,确保液晶显示器的高质量和高分辨率。
彩色滤光片制造:是彩色滤光片回路形成的重要光源,通过**的光刻工艺,在玻璃基板上形成红、绿、蓝等彩色滤光单元,使显示画面色彩更加丰富、逼真。
有机发光二极管(OLED)制造:可用于 OLED 图案的形成,在 OLED 面板制造中,能够实现精细的电极和发光层图案化,对于提高 OLED 显示的性能和像素密度具有重要意义。
印刷电路板(PCB)制造:用于印刷电路板电路烧录,在 PCB 的制作过程中,通过光刻工艺将电路图案转移到覆铜板上,实现电路的**布线和制作,确保电路板的质量和性能。
微机电系统(MEMS)制造:在 MEMS 器件的制造过程中,如微传感器、微执行器等的制作,可用于光刻工艺,实现微小结构的**制造。