日本MIYUKI(美幸辉)BAR-I100 控制蝶阀 属 BAR-I系列高真空/洁净型电机直驱调节蝶阀,公称通径 100A(DN100/KF100或ISO100),阀体采用 SUS304不锈钢 一体精密加工,内腔高光抛光无金属滑动摩擦部件,适配 10⁵Pa常压至10⁻⁵Pa高真空 全工况。“I”为洁净/高真空升级型,密封与颗粒析出控制严于标准J型,内部泄漏 ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s、轴封 ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。核心为 DC24V伺服电机无背隙直驱阀板(0~90°无级调节),消除齿轮传动间隙,微小开度下流导与压力稳定可控。标配 ISO100/KF100法兰,密封件标准 FKM氟橡胶(可选全氟醚Kalrez),阀体耐温 ≤150℃、电机环境 ≤40℃,支持 0–10V/4–20mA模拟量 或 RS-485 对接 MGCS-11、MG-mini485、MS-VP 等控制器实现PID闭环调压与开度管理。结构薄型低噪、极低颗粒析出,广泛用于半导体CVD/PECVD、平板显示PVD、光伏镀膜、锂电干燥及工业炉大管径高纯负压管路,与BAR-I40~I80、BAR-J系列形成“洁净中—大通径”互补矩阵,出厂经气密、开度线性、泄漏全项检测,是大容量高洁净腔体精密稳压与流导管控的关键执行元件。