各种不同的膜厚计测仪器的区别。
1.破坏式膜厚计:利用钻石刀将底材连同膜厚截断,然后将断面置于光学颢微镜检查,其断面斜度有30度斜角,60度斜角及45度斜角的分别，亦有采用90度切断检查者。
2.光学椭圆仪:其原理是利用分光的技术,由于不同材料有不同折射率的特性 ,因此求得膜厚,其仪点为精度高,不论膜厚薄至数 n m ,也可以量取,但是缺点是价格较贵。