FLUORO 福乐是日本 Fluoromechanic 公司,主打半导体洁净真空吸笔配套模块化吸嘴,是晶圆、芯片、光学件手动真空拾取的前端耗材,俗称真空吸头,适配福乐 C 系列(防静电干式)、F 系列(耐化学湿法)真空吸笔。
✅ 核心结构特点
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模块化快拆设计 吸嘴为独立消耗件,筒夹卡套锁紧结构,徒手旋转锁帽即可更换,无需工具;同一支吸笔本体可互换多种吸嘴,气密性稳定,更换成本低。
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洁净低微粒、防静电 满足 Class1/100 洁净标准,低析出、低掉粒;导电款表面电阻率 10⁶~10⁸Ω,可泄放静电,防止晶圆 / 芯片静电损伤。
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多种外形可选
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单点小孔喷嘴:微小晶粒、小尺寸样品
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环形吸嘴:薄晶圆、薄片,减少吸附应力
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大面积多孔吸盘:8 寸 / 12 寸整片硅晶圆(分布式吸附,避免薄片形变)
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加长杆吸嘴:腔体、探针台狭小空间作业
✅ 主流材质与选型
表格
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材质
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特性
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适用工况
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导电 PEEK(CP)
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高强度、耐磨、防静电、耐溶剂;低颗粒,不划伤晶圆
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干式洁净室,硅晶圆、SiC/GaN、封装芯片,*常用(例:92-CP)
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导电氟橡胶
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软质、导电、耐酸碱腐蚀,缓冲好
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湿法、酸蚀工艺,59 系列导电氟橡胶喷嘴
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PTFE / PCTFE(特氟龙)
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极强耐化学腐蚀,低摩擦
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湿法清洗、强药液环境,F 系列配套
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Vespel
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耐高温、高刚性、极低出气
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高温制程、高真空腔体取样
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导电硅胶
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超软,无压痕
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光学镜片、软膜、易碎薄片
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✅ 典型应用场景
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半导体:4/6/8/12 寸硅晶圆、超薄外延片、SOI、碳化硅 / 氮化硅晶圆;划片、贴膜、探针测试、封装上下料
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光电子:光学镜片、滤光片、光芯片、玻璃载片无损拾取
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实验室:薄片样品、陶瓷基板、微小器件无尘转移
✅ 配套区分
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C 系列吸嘴:防静电干式,导电 PEEK 为主,普通洁净车间干法取放
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F 系列吸嘴:全氟材质,耐强化学药液,湿法清洗、腐蚀制程使用
✅ 选型简要要点
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吸附工件:尺寸、厚度、是否易碎(薄片优先环形 / 多孔吸盘)
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环境:干法选导电 PEEK;有酸碱药液选氟橡胶 / PTFE
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静电风险:半导体晶圆、芯片必须导电款
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空间受限:加长杆、万向转接吸嘴组件