優れた高温特性の高温・低温両用，絶対圧測定が可能な高信頼型スパッタゲージ式圧力変換器です。本器は，スパッタリングとフォトリソグラフィ技術により，薄膜ひずみゲージと温度補償用抵抗膜を同一ダイヤフラム上に直接形成して温度補償を行い，高温でも温度補償が精度良く行うことができます。