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产品资料

UV灯照射装置
产品型号:VUS-3300
简介:

日本ORC,UV灯照射装置VUS-3300; 1. フラッシュメモリ、マイコンのVth特性の回復とリテンション特性の改善に有効です。 2. EP-ROM等不揮発性メモリでは、データの消去にも有効です。 3. 半導体デバイスのトランジスタ特性の改善と安定化にも有効です。 4. 対象ウエーハはΦ5in~Φ300mmまでカバーする、SEMI規格に準拠した構造です。 。

UV灯照射装置  的详细介绍
日本ORC,UV灯照射装置VUS-3300;

特 徴:
1. フラッシュメモリ、マイコンのVth特性の回復とリテンション特性の改善に有効です。
2. EP-ROM等不揮発性メモリでは、データの消去にも有効です。
3. 半導体デバイスのトランジスタ特性の改善と安定化にも有効です。
4. 対象ウエーハはΦ5in~Φ300mmまでカバーする、SEMI規格に準拠した構造です。
5. 100℃~150℃の低温プロセスです。
 
其他型号:VUM-3500,VUM-3434,VUM-3460。
日本ORC,光源用设备,UV灯照射装置;
 
素子に紫外線を照射して、電荷を放出させることが出来ます。半導体、特にフラッシュメモリの製造工程において良好な素子特性を得て、歩
日本ORC,UV灯照射装置VUS-3300;


手动、半自动曝光机;
手动曝光机:EXM-1201,EXP-2805,HMW-680,EXP-2807.
半自动曝光机:EXP-2951,EXP-2950.

适合基板的曝光机;DXP-3500シリーズ,DXP-3900シリーズ.

全自动曝光设备:DXP-3502.

高精度自动扫描设备:LPP-3880.

小型UV输送机QRM-2288,紫外线输送机QRM-2300,双面照射输送机QRM-2215.
小型灯:UV-100,UV-300,UV-500,UV-800,UV-1200.

光源设备:HMW-615N-3,HMW-615N-4,VUM-3073F.

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深圳市京都玉崎电子有限公司营业部:
销售担当:何银花
电话:0755-28578111         13717022388
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