日本HOYA紫外线照度计UV-M03A
1 .曝光装置的照度与光量的管理简单小型轻量的不利条件类型。
2 .紫外线照度与光量轻松的测量。
3 .光接收器,您使用的(使用预定的)光源和抗蚀剂等的灵敏度,配合UV-25,35,42用您选择您。但是电子电路(印刷)基板的制造过程中使用的场合UV - SNS 25,UV - SNS35,UV- SNS42,半导体和液晶基板的制造过程中使用的场合UV - SD25,UV -SD35,UV-SD42。您被选择的鼓励。
四点测量数据,RS-232C通信输出通过传送。
5点模拟输出也具备。
SD型和SNS型关于
SNS型是自古以来公司制造的曝光装置和辐照装置等使用您的客户的广泛采用的东西,流程管理継続性确保了。
SD型半导体和液晶基板的制造工艺的现场,已经有其他公司制的照度计使用客人,它们的测量器的数据的互换性确保被重视的情况(本公司制造的曝光装置也投影型露光设备和液晶基板用的周辺曝光装置SD型被采用着)和,完全新的照度计等的使用就被客人推荐。
SD型和SNS型的指示値
SNS型是自古以来的进程数据的互换性确保SD型的指示值(本公司测量集团校正用放射源和使用的高压UV油灯的365nm的发射线的测量同一条件测量时显示照度值:mW / cm2显示)对39%高显示的调整。
其他公司制照度计和数据互换性
可见光用照度计(家庭、办公室、商店、美术馆等的亮度,LUX单位测量照度计)不同,紫外线用的照度计的所有适用规格还没有整理好(极少的一部分被限定了的用途JIS化工作进行的。)。
各公司的相对光谱灵敏度,365nm的明线作为主体的光源的照度测定目的被做了,也测量的峰值波长(相对光谱灵敏度特性1所显示的波长)为首,短波波长方(300nm~310nm左右)长波长一侧(380nm~400nm左右)的站起来,放下的波长和那个前后的曲线一点点不同。
另外COSθ特性被认为是受光器所持有的受光角理想曲线特性也打算挨近,设计方面努力了,但还是尚未实现的现实
受光器(交换式)型号:UV -SD35,UV- SNS35