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产品资料

真空计校正装置
产品型号:OKANO-1
简介:

OKANO-1真空计校正装置OKANO冈野真空测量设备OKANO-1真空计校正装置OKANO冈野真空测量设备

真空计校正装置  的详细介绍

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 特長

●この真空計の校正装置は中真空領域を測定する真空計(主に熱伝導型真空計)を校正するための装置です。
●装置の基本構成は、真空容器、メインポンプ、補助ポンプ、遮断バルブから構成され、全てを一つの架台に搭載しております。
※真空計の校正装置の設計、製作は、真空計校正方法JIS Z 8750 : 2009 に準じております。
※ご要望に応じて簡易型の製作も可能です。

到達圧力 5.0×10-4 Pa 以下
校正圧力範囲 5.0×10-2 ~ 1.0×105 Pa
圧力制御方式 手動操作
排気時間 約20分( 大気圧から到達圧力まで)
真空容器 形状 : 円筒形(高さ224㎜) 材質 : SUS304
表面処理 : 電解研磨
真空計取付ポート数 : 8ポート(ICF-70)
(参照用3ポート、被校正用5ポート)
排気系 メインポンプ : ターボ分子ポンプ 排気速度 70L/s
補助ポンプ : ロータリーポンプ 排気速度 100L/min
真空バルブ : バタフライバルブ
気体導入系 バリアブルリークバルブ、ニードルバルブ、レギュレーター
外形寸法・重量 約 幅55×奥行50×高さ110㎝ 約150kg
※ 仕様はお打合せにより決定いたします。上記仕様表はご参考用です。
※ 基準真空計(参照真空計)をお求めになられる際は別途お打合せさせてください。
※ 基準真空計(参照真空計)により校正圧力範囲は変わります。