二、Bellows式空气弹簧AT系列
型 式
AT-120
AT-250
AT-415
AT-615
AT-855
规格：A×B (E)mm
230×230(233)
230×230(260)
330×330(340)
360×360(370)
420×420(460)
规格： C×Dmm
210×210
300×300
330×330
390×390
规格： Hmm
148
170
质 量 (kg/个)
7.5kg
7kg
15kg
18kg
20kg
搭载可能重量(kg/个)
450kg
1000kg
1,500kg
2,400kg
3,000kg
固有振动数
水平・垂直：约3.0Hz
水平方法
使用自动水平调整器来维持水平
供给空气源(MPa)
0.4～0.6
附属品
气压调节阀(1个)、φ6塑胶管(10m)、T型连结管(2个)
特点：
・固有振动数：约3.0Hz
・高减衰：共振倍率约3倍
・高耐久性
・付内部过浮上防止机构
・付自动水平调整器
・付减衰机构
・可依据机台规格客制化
使用例：
・半导体检查机台
・液晶检查机台
・LaserRepair机台
・Inspection机台
・SEM、TEM
・超精密加工机
・光学机台