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产品资料

QUARK夸克面发光UV照射装置,准分子清洗机QEF-300
产品型号:QEF-300
简介:

QUARK夸克面发光UV照射装置,准分子清洗机QEF-300QUARK夸克面发光UV照射装置,准分子清洗机QEF-300QUARK夸克面发光UV照射装置,准分子清洗机QEF-300

QUARK夸克面发光UV照射装置,准分子清洗机QEF-300  的详细介绍
用途
uv臭氧
干蚀刻软件
uv动画
表面改革
残渣残渣
粘玻璃
光cvd等成膜

消除氧化膜

仕様

波長 172nm
照射開口 φ332mm
*照度 70mW/cm2
分布 ±7%
ユーティリティ N2、冷却水、AC200V
機能 真空対応可能、照度モニタ、フィードバック制御