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产品资料

QUARK夸克面发光UV照射装置,准分子清洗机QEF-3200
产品型号:QEF-3200
简介:

QUARK夸克面发光UV照射装置,准分子清洗机QEF-3200QUARK夸克面发光UV照射装置,准分子清洗机QEF-3200QUARK夸克面发光UV照射装置,准分子清洗机QEF-3200

QUARK夸克面发光UV照射装置,准分子清洗机QEF-3200  的详细介绍

用途

表面洗浄 表面改質

仕様

波長 172nm
照射長 3100mm
照射幅 72mm
*照度 180mW/cm2
分布 ±10%
ユーティリティ CDA、N2、冷却水、AC200V
機能 各種流量計、照度モニタ、フィードバック制御