KOSAKA小坂微细形状测定机ET4000L深圳京都玉崎中国进口
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微细形状测定机
ET4000系列
· 高精度．安定性．机能性**适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。
· 是多机能的全自动微细形状测定机，针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。
· ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。
· ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。
· ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机。
· ET4300一适合12"样品测量。
· 各机型详细参数请与区域销售联系。
产品特点
*大试片尺寸 210×210mm~300×400mm
重现性 1σ 0.5nm以内
测定范围 Z:100µm X:100～305mm (Y移动量:150~400mm)
分解能 Z:0.1nm X:0.1µm
测定力
0.5µN~500µN (0.05mg-50mg)
轮廓形状测定机
KOSAKA小坂轮廓形状测定机EF550A-M50
KOSAKA小坂轮廓形状测定机EF550A-M5·B
KOSAKA小坂轮廓形状测定机EF550A-M58
KOSAKA小坂轮廓形状测定机EF550A-G18
KOSAKA小坂轮廓形状测定机EF550A-G18D
KOSAKA小坂轮廓形状测定机EF650
KOSAKA小坂轮廓形状测定机EF651D
KOSAKA小坂轮廓形状测定机REF100
微细形状测定机
台阶仪微细形状测定机ET200日本KOSAKA小坂
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微细形状测定机ET4000AK日本KOSAKA小坂
微细形状测定机ET4000M日本KOSAKA小坂
微细形状测定机ET4000L日本KOSAKA小坂
微细形状测定机ET4300日本KOSAKA小坂
微细形状测定机ET10000日本KOSAKA小坂
真圆度圆柱度测定机
日本KOSAKA小坂真圆度测定机EC600
日本KOSAKA小坂真圆度圆柱度测定机EC1550H
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日本KOSAKA小坂真圆度圆柱度测定机EC36008
日本KOSAKA小坂真圆度圆柱度测定机EC3600C
