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产品资料

氧气分析仪
产品型号:MS-500
简介:

氧气分析仪MS-500日本TORAY东丽氧气分析仪MS-500日本

氧气分析仪  的详细介绍

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氧气分析仪MS-500

*多可同时测量8个点
浓度显示范围很广,从ppm到100%。
非常适合安装在半导体制造设备,真空设备等上。
传感器为直接插入型(用于真空16/25/40的NW法兰)
具有特殊涂层的高度耐用的传感器,可进一步提高耐用性

MS-500设备规格

测量原理 氧化锆浓缩池类型
形状 分体式(转换器:壁挂式,传感器:直接插入式)
显示方式 4位数字显示(密度显示)
测量范围 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol%O 2 10 -20至10 -0 atm
自动量程
重复性 在±0.5%FS 0-1%范围内或更高
±1%FS或±
0.1ppm中,以较大者为准小于0-1%范围0-1ppm,atm范围超出保证的浓度范围
测量点数 1〜8
样气条件 压力 10 -3至200 KPa(优良压力)
流量 0.5至5,000 mL / min或0 mL / min(自发扩散状态的测量)
湿度 露点低于环境温度
温度 0-100°摄氏度
其他 请勿包含腐蚀性气体(氟气,氯气,硫化物气等),含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。
比较气 大气层
记录仪输出 仅变速箱输出
变速箱输出 RS-232C
报警输出 没有
热身时间 6分钟以内
尺寸 MS-500(控制器) 92(W)×44(H)×120(D)(不包括突起)
MS-510(转换器) 100(W)×40(H)×88(D)(不包括突起)
传感器单元 SD16NW 总长100mm(感应部分Φ11×39,主体部分Φ40×51)
SD25NW 总长100 mm(感应部分Φ11×42,主体部分Φ40×48)
SD40NW 总长100mm(感应部分Φ11×41,主体部分Φ40×49)
大众 MS-500(控制器) 约0.6Kg
MS-510(转换器) 约0.5kg
传感器单元 SD16NW 约0.2Kg
SD25NW 约0.2Kg
SD40NW 约0.35Kg
外部连接 真空法兰之一(NW16、25、40)
使用电源 24VDC±10%