在保持 FUD-1 Model-53 的优点(例如易于维护和高精度在线测量)的同时,该型号具有用于半导体制造过程的小电池型发射器。
FUD-1 Model-53内置电导率仪
3成分中的2成分浓度计端可以实时进行
配备模拟 DC4 至 20mA(2 个系统)和数字 RS232C 作为标准设备
标配测量误差输出和报警输出
标配自诊断功能和错误信息显示
小巧轻便的电池型变送器可直接安装在线路上
接液部分材料采用PFA,小输出设计对化学品无影响
可以进行高精度的连续测量
免维护,无需定期调整或校准
安装方便,安装时无需进行各种调整
通过实时输出轻松反馈过程
CMP工艺中的CMP浆料和氧化剂浓度管理等
清洗过程中的清洗液浓度管理(HF+HNO3、HF+H2SiF6等)
刻蚀工艺中的刻蚀液浓度管理(TMAH+抗蚀剂、TMAH+Si等)