用途
●液晶、半导体用抗蚀剂的过滤
●CMP清洗液的过滤
●蚀刻液的过滤
特点
●不喜欢从聚丙烯中溶出的液晶,面向半导体的抗蚀剂过滤,将部件变更为高密度聚乙烯,降低了溶出。
●PTFE制膜过滤器不使用表面活性剂。另外,由于过滤器的密封是热熔粘接,所以是清洁的滤筒过滤器。
●已实施全部产品完整性试验,是可靠性高的产品。
规格
型号
TCF-005
TCF-010
TCF-020
TCF-020L
TCF-050
TCF-100
TCF-300
孔径(㎛)
0.05
0.10
0.20
0.50
1.00
3.00
有效过滤面积(㎠/250mm型)
12000
16400
7000
极限使用压差
0.25MPa(25℃)
极限使用温度
40℃
完整性测试
≧0.280
≧0.147
≧0.078
≧0.049
≧0.021
≧0.009