用途 ●液晶、半导体用抗蚀剂的过滤 ●CMP清洗液的过滤 ●蚀刻液的过滤 特点 ●不喜欢从聚丙烯中溶出的液晶,面向半导体的抗蚀剂过滤,将部件变更为高密度聚乙烯,降低了溶出。 ●PTFE制膜过滤器不使用表面活性剂。另外,由于过滤器的密封是热熔粘接,所以是清洁的滤筒过滤器。 ●已实施全部产品完整性试验,是可靠性高的产品。 规格 型号 TCF-005 TCF-010 TCF-020 TCF-020L TCF-050 TCF-100 TCF-300 孔径(㎛) 0.05 0.10 0.20 0.50 1.00 3.00 有效过滤面积(㎠/250mm型) 12000 16400 12000 7000 极限使用压差 0.25MPa(25℃) 极限使用温度 40℃ 完整性测试 ≧0.280 ≧0.147 ≧0.078 ≧0.049 ≧0.021 ≧0.009