主要用途
●半导体、液晶显示器等电子工业界的抗蚀剂过滤用
特点
●构成材料全部为聚乙烯,是低溶出的滤筒过滤器。
●对电子工业界使用的有机溶剂等的清洁性也很好。
●与以往的本公司产品相比,采用了小孔径的膜过滤器,实现了高精密的过滤。
规格
型号
TCE-1X
TCE-0002
TCE-0003
TCE-0005
TCE-001
孔径(nm)
1
2
3
5
10
有效过滤面积(㎠/250㎜)
15000
15500
极限使用差压
0.25MPa(25℃)
极限使用温度
40℃