由于减少静电的气体成分在真空中很稀薄，因此与大气压环境相比，静电会造成更严重的生产问题。
真空兼容静电电位传感器采用能够承受在真空环境下使用的材料和组件，可用于测量真空中产生的静电。用它来识别真空过程中产生静电的原因并持续监测静电势。
该图显示了使用 KS-3101 在真空室中施加任意电压时测量带电板的电位的结果。即使在不同压力环境下（真空下10-3Pa，大气压下10+5Pa），无需校准即可获得相等的测量值。
*此数据为实际测量值，并非保证值。
排气分析比较
对传感器放出的气体进行分析证实，气体的主要成分是水和微量的碳氢化合物。由于每个峰值与背景中测量的峰值相同，因此认为它源自环境中吸附在传感器表面上的气体。
●极限真空比较
排气系统：大阪真空株式会社制造涡轮分子泵TG220FCAB 排气速度：220L/秒（N2） 腔室尺寸：φ300×L 300mm
*真空法兰由客户自备。
高性能型，带触摸屏和支持SD卡
强调可视性的简单类型
*请在控制器 KSD-0110 和 KSD-0120 各自的页面上查看其规格。
(1) 测量单元 ( 2) 调零单元 ( 3) 外壳（镜面不锈钢） ( 4) 安装垫片（聚四氟乙烯） (5) 量程选择开关 ( 6) 运行/故障指示灯 (7) 充电指示灯(0, +, -) ( 8) 专用电缆（带连接器）