测量精度为±0.1μm。提供亚微米管理环境。
使用专有技术的砧座的平稳移动可以实现高精度的测量。
在测量范围内的任何位置上测量力恒定。可以防止因工件尺寸差异而导致的测量误差。 此外，客户可以轻松更改测量力。