LCD飞溅装置、真空干燥工艺、大型负载锁定室等高速排气性能优异，
是搭载了与气体负荷对应的转速自动控制功能、通信功能等附加价值的独立设置型干泵。 产品介绍 ESA 型备有适合排出氢气等轻气体的排气量为 1,400L/min ～ 10,000L/min 的型号， 以及适合对大型腔室进行高速排气的排气量 为 20,000L/min ～ 80,000L/min 的型号。 容量为 10,000 L/min 或以下的型号适合轻气体排气， 设计紧凑，有耐腐蚀材料可供选择。 它们是 MO-CVD 等高流量轻气体排气应用的理想选择。 大型机型虽然排气量大， 但实现了安静运行和低振动， 并且还提供有机溶剂排气选件， 使其*适用于LCD溅射设备， 真空干燥工艺，大型负载锁等。
风冷干式真空泵
EV-PA250
EV-PA500
涡轮分子泵
EMT397M
EMT427M
EMT907M
EMT1307M
EMT2400M
EMT1700MK
EMT2200MK
EMT3300MK
EMT3400MK
EMT3800MK
EMT4200MK
EBT70F
EBT220F
EBT240F
EBT350F
EBT450F
EBT800F
EBT1100F
EBT1400F
EBT2400F