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产品资料

日本ULVAC爱发科干泵用消音器
产品型号:RS-02
简介:

“型号:MS”是一种属于螺杆式干式真空泵的真空泵。 该泵是基于传统的“LS型”泵,提高了耐腐蚀性和粉末排出性能的耐工艺干式真空泵。它设计用于涉及腐蚀性气体和粉末排气的真空工艺。

日本ULVAC爱发科干泵用消音器  的详细介绍

“型号:MS”是一种属于螺杆式干式真空泵的真空泵。该泵是基于传统的“LS型”泵,提高了耐腐蚀性和粉末排出性能的耐工艺干式真空泵。它设计用于涉及腐蚀性气体和粉末排气的真空工艺。


特征
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊的表面处理,实现了高耐腐蚀性。
螺旋式转子轴采用独特的 ULVAC 设计,可提供高粉末排放性能。
从大气压到极限压力的整个压力范围内均可连续运行。
目的
真空排气系统
蚀刻设备、灰化设备、电子零件等离子清洗设备、
半导体制造设备等。
真空热处理炉、
烧结炉、渗碳炉等真空排气系统。
锂电池制造设备真空排气系统、
电极干燥设备、脱气设备、注液设备等。
医疗及食品相关设备、
冷冻干燥设备、真空干燥设备等的真空排气系统。



螺杆式干式真空泵
MS120A MS600A MS1200A
LS120A-C
LS120A-L
LS300A-C
LS300A-L
LS600A-C
LS600A-L
LS1200A-C
LS1200A-L
多级罗茨干式真空泵
HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200 UR600 UR421-T UR1200 UR1800
UR3601-TT
机械增压泵 PRC-003A PRC-006A PRC-012A
通用带电机罗茨真空泵
GR60A GR90A GR180A
CR16B CR30B CR60B-S CR60B-T CR300B CR60B