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柳下技研YGN-590-FAVG多维几何检测玉崎现货
产品型号:YGN-590-FAVG--
简介:

柳下技研YGN-590-FAVG多维几何检测玉崎现货 柳下技研长冈工厂凭借其独特的图像测量技术、机械技术、专业知识和电气设计技术,为客户提供各种设备。

柳下技研YGN-590-FAVG多维几何检测玉崎现货  的详细介绍
YGN-590-FAVG 在 YGN-590 平台上集成 垂直扫描干涉(VSI)与相位移干涉(PSI)及共焦显微(Confocal) 三种模式,针对 Fiber Array(FA)、PLC 波导端、高 NA 特种插芯 之端面微观形貌与几何参数进行评价。
干涉模式(PSI/VSI):以短相干长度光源(通常 780 nm 或 630 nm)射入参考臂与端面反射臂,形成干涉条纹,通过压电陶瓷驱动参考镜扫描 Z 向,提取相位信息重建表面 3D 拓扑,Z 向分辨率达 0.1 nm,适合 R 1.5~20 mm 小曲率 PC/APC 端面、平面度、亚 Å 级粗糙度 Ra。对 FA 块(阵列光纤固定于 Si 或玻璃基板 V 槽并用 UV 胶固定)可评价各纤芯出射端相对基面高度差(Height above substrate)——这对 PLC 耦合对准至关重要,要求 ±0.05 µm 以内。
共焦模式:针孔滤波抑制离焦光,增强轴向分辨与高反射/低反射反差,适合多层结构端面(如带抗反射涂层的 APC 插芯、树脂/陶瓷复合 FA)深沟或近垂直侧壁轮廓扫描,避免干涉法在陡变边缘相位模糊。
FAVG 软件算法特点:
  • 自动识别阵列孔位:依 CAD 间距预置搜索窗,逐孔拟合 apex 与 offset,生成阵列偏移热力图。
  • 边缘效应剔除:对 FA 块边缘胶溢或微裂纹区设掩膜,防误算曲率。
  • 粗糙度与波度分离:通过高斯滤波(λc 0.08~0.25 mm)分离端面加工纹路与真实球/平面度。
  • APC 8° 斜面重构:在回转扫描中做极坐标-笛卡尔变换,补偿回转轴残余晃动致斜面边缘畸变。
装置须置于 恒温(23±0.5℃)、防振(气浮台或主动隔振)环境,且装夹 FA 时用低应力压板防微弯致基面变形影响高度测值。YGN-590-FAVG 以非接触、纳米级 Z 向分辨及多模式切换,成为光器件厂 FA/PLC 端面对准质量评价关键设备。