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产品资料

MIYUKI美幸辉 B-I63 密封气动蝶阀玉崎现货
产品型号:B-I63 --
简介:

MIYUKI美幸辉 B-I63 密封气动蝶阀玉崎现货 自动且快速地优化PID参数。 支持简单且用户友好的触摸屏操作,并可远程控制**系统。 安静的阀门操作确保了控制的稳定。

MIYUKI美幸辉 B-I63 密封气动蝶阀玉崎现货  的详细介绍

日本MIYUKI(美幸辉)B-I63 气动蝶阀属 B-I系列高洁净/高真空型气动两位式切断蝶阀,公称通径 63A(DN63)。该系列专为中高真空管路、中型腔体隔断及高纯制程设计,广泛应用于半导体PVD/CVD设备、光学镀膜机主抽阀、锂电注液真空腔体及科研氦检漏系统等需快速响应与极低泄漏的场景。“B”代表气动两位式蝶阀,“I”专属代表ISO-F欧标大法兰(原厂兼容KF/JIS/CF),63指DN63通径。

核心结构与参数

  • 阀体与流导:接触介质部分采用SUS304不锈钢,内腔经镜面电解抛光(EP)处理以降低放气率;超薄阀板设计使得其在同口径真空阀中拥有极高的气体传导性能,大幅缩短腔体抽真空时间。
  • 密封与漏率:标准配置FKM氟橡胶O型圈,可选Kalrez全氟醚以耐受卤素及强酸碱等离子工艺腐蚀;整体泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s,满足半导体高洁净标准。
  • 执行机构:匹配齿轮齿条式气动气缸,工作气源为0.4~0.6MPa洁净无油压缩空气;气缸开启推力大且行程两端自带气垫缓冲,启闭无剧烈撞击,标准寿命≥100万次。
  • 控制反馈:标配NPN/PNP微动开关检测开/关到位信号并接入PLC,支持DC24V电磁阀远程联控;金属一体导通可快速释放静电,无安装姿态限制。

适用工况与应用场景

  • 适用工况:适配10⁵Pa常压至10⁻⁵Pa高真空区间;阀体支持150℃整体烘烤除气(气缸环境温度需≤40℃)。
  • 应用场景:主要用于中型真空腔体的主抽气管路隔断、分子泵隔离及破空;典型应用于光学卷绕镀膜机靶室隔离、锂电隔膜脱泡主管路隔断等。

总结

  • 总结:MIYUKI B-I63气动蝶阀凭借极高流导、极低漏率及无尘室组装的高洁净度,是中型高真空管路可靠的核心切断元件。
  • 对比:相较于B-J系列(日标法兰),B-I系列(欧标大法兰)更常用于大型量产真空炉及进口镀膜主抽管路;相较于电动BAR-I系列,其作为纯气动通断阀结构更简单、响应更快(≤1s)。
  • 避雷:若工艺要求腔体必须缓慢抽真空或破真空以防膜材损伤或电解液飞溅,建议选用带双段气缸的BH-I系列慢抽款,无需额外增设旁路针阀。