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产品资料

MIYUKI美幸辉 B-C40 密封气动蝶阀玉崎现货
产品型号:B-C40 --
简介:

MIYUKI美幸辉 B-C40 密封气动蝶阀玉崎现货 自动且快速地优化PID参数。 支持简单且用户友好的触摸屏操作,并可远程控制**系统。 安静的阀门操作确保了控制的稳定。

MIYUKI美幸辉 B-C40 密封气动蝶阀玉崎现货  的详细介绍

日本MIYUKI(美幸辉)B-C40 气动蝶阀B-C系列超高真空/高温烘烤型气动两位式(ON/OFF)切断蝶阀,公称通径 40A(DN40)“B” 代表标准单气缸气动通断蝶阀(仅0°全关/90°全开,无中间调节功能),“C” 专属代表 CF 刀口金属法兰(ConFlat Flange,无氧铜垫圈密封,支持高温烘烤),“40” 指 DN40 通径。该阀专为超高真空(UHV)系统、需高温除气烘烤的精密腔体及无油真空管路设计,广泛用于扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、XPS表面分析设备、晶圆研发实验室、8/12寸磁控溅射/PECVD设备分子泵前级隔断及电子束/离子束加工设备等场景。
阀体采用 SUS304 不锈钢 一体精密加工,内腔经镜面电解抛光(EP)处理以*大限度降低放气率与颗粒析出;阀板为 SUS304 超薄型设计,流阻极小、全开近似直管,在同口径真空阀中拥有极高的气体传导性能,大幅缩短高真空腔体抽气时间。“C”系列核心特征为 CF 刀口金属密封结构,标准配置 FKM 氟橡胶 O 型圈(阀杆轴封等非烘烤区),阀座与阀体密封采用 无氧铜刀口金属密封(可选 Kalrez 全氟醚应对特殊腐蚀),内部泄漏 ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s,极限真空可达 10⁻⁷ Pa 级,阀体支持 ≤150℃ 整体高温烘烤除气(气动气缸需拆卸或加隔热罩,环境温度≤40℃),彻底去除表面吸附水汽与有机物。
执行机构为 紧凑型齿轮齿条式气动气缸,工作气源 0.4~0.6MPa(4~6bar)洁净无油干燥压缩空气,气缸开启推力倍增且行程两端自带末端气垫缓冲,启闭无剧烈撞击、低噪音,标准寿命≥100万次;标配开/关到位微动开关(NPN/PNP 可选)直连 PLC 实现**联锁,支持 DC24V 两位五通电磁阀远程联控;无安装流向与姿态限制(水平/垂直/倒置均可),超薄阀体面间距极短节省超高真空腔体外围空间,金属一体结构可导除静电,适配防静电真空系统。接口标配 CF40 刀口法兰,采用无氧铜垫圈压紧密封,确保超高真空下的长期零泄漏稳定性。
相较 B-J40(JIS日标)、B-I40(ISO欧标)与 B-N40(KF快拆),B-C40 以 CF金属刀口法兰与耐高温烘烤为核心优势,专用于超高真空、无油系统及需周期性烘烤除气的精密科研/半导体设备;相较电动 BAR-C/BAZ-C 系列,其为纯气动两位切断阀,结构极简、故障率更低、响应更快(≤1s),专注高真空可靠隔断而非连续调节。出厂于无尘室组装,逐台经氦质谱检漏、气密、开关寿命、微动信号全项检测,是小通径(40A)超高真空/高温烘烤管路中“超薄大通导、金属零泄漏、耐150℃烘烤、任意安装”的核心气动隔断元件。