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产品资料

MIYUKI美幸辉 BH-J50 密封气动蝶阀玉崎现货
产品型号:BH-J50 --
简介:

MIYUKI美幸辉 BH-J50 密封气动蝶阀玉崎现货 自动且快速地优化PID参数。 支持简单且用户友好的触摸屏操作,并可远程控制**系统。 安静的阀门操作确保了控制的稳定。

MIYUKI美幸辉 BH-J50 密封气动蝶阀玉崎现货  的详细介绍

日本MIYUKI(美幸辉)BH-J50 气动蝶阀BH系列两段式(双气缸)气动真空/压力切断兼慢开度蝶阀,公称通径 50A(DN50)“BH” 代表 两段式双气缸驱动(区别于B系列单气缸纯通断),具备 0°全关 → 0~45°可调慢开段 → 90°全开 三工位控制,“J” 代表 JIS日标法兰(兼容KF50/ISO/CF定制),50 指 DN50。该阀专为中小型腔体需防气流冲击的慢抽/慢破空、精密微调进气及高频可靠隔断设计,广泛用于半导体晶圆测试台、小型PVD/镀膜腔、锂电实验室脱泡炉、光学仪器真空微调及质谱仪配套高纯气管路等场景。
阀体采用 SUS304不锈钢 一体精密加工,内腔经镜面电解抛光(EP)处理以降低放气率与颗粒析出;阀板为SUS304超薄型中线密封设计,流阻极小、全开近似直管,在同口径真空阀中拥有极高气体传导性能。“BH”系列核心为 双气缸两段驱动结构:主气缸控制90°全开快速大通流(缩短抽气/破空节拍),副气缸通过端部限位螺钉无级微调 0~45°慢开度,实现缓慢抽真空或缓慢破真空,单阀替代“切断阀+旁路针阀”双阀方案,避免气流突变损伤晶圆、膜层或致电解液飞溅;密封件标准 FKM氟橡胶O型圈(阀体与轴封双层密封),可选 Kalrez全氟醚,内部泄漏 ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s、轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s(氦质谱检漏级),适配 10⁵Pa常压~10⁻⁵Pa高真空,阀体耐烘烤 ≤150℃(气缸环境温度≤40℃)。
执行机构为 紧凑型齿轮齿条双气缸,工作气源 0.4~0.6MPa洁净无油干燥压缩空气,气缸开启推力倍增且行程两端自带末端气垫缓冲,启闭无撞击、低噪音,寿命≥100万次;标配开/关及慢开段微动开关(NPN/PNP)直连PLC实现三位置联锁,支持DC24V电磁阀远程时序控制;无安装流向与姿态限制(水平/垂直/倒置均可),超薄阀体面间距极短节省微小设备空间,金属一体结构可导除静电。接口标配 JIS50日标法兰,兼容KF50/ISO50/CF50。
相较 B-J50(单气缸纯通断),BH-J50 增加0~45°两段慢开功能,适防冲击精密工艺;相较电动BAR/BH调节系列,其为纯气动两段定点控制(非连续调节),结构更简、故障更低、响应快。出厂无尘室组装,逐台经氦检漏、气密、开度标定、寿命检测,是中通径(50A)真空/压力管路中“超薄大通导、两段快慢控、低漏率、任意安装”的核心气动隔断与缓流元件。