MIYUKI美幸辉 BH-J65 密封气动蝶阀玉崎现货 BH-J65 -- 深圳市京都玉崎电子有限公司

日本MIYUKI（美幸辉）BH-J65 气动蝶阀 属 BH系列两段式（双气缸）气动真空/压力切断兼慢开度蝶阀，公称通径 65A（DN63/JIS65），“BH” 代表 两段式双气缸驱动（区别于B系列单气缸纯通断），具备 0°全关 → 0~45°可调慢开段 → 90°全开 三工位控制，“J” 代表 JIS日标法兰（兼容KF63/ISO/CF定制），65 指 DN65（JIS65）。该阀专为中大型腔体需防气流冲击的慢抽/慢破空、精密微调进气及高频可靠隔断设计，广泛用于半导体PVD/CVD设备、光学镀膜机靶室、锂电电芯真空烘烤炉/脱泡罐、热处理真空炉及科研氦检漏系统等场景。

阀体采用 SUS304不锈钢 一体精密加工，内腔经镜面电解抛光（EP）处理以降低放气率与颗粒析出，无金属滑动摩擦副；阀板为SUS304超薄型中线密封设计，流阻极小、全开近似直管，在同口径真空阀中拥有极高气体传导性能，大幅缩短腔体抽真空与充气节拍。“BH”系列核心为 双气缸两段驱动结构：主气缸控制90°全开快速大通流（缩短抽气/破空节拍），副气缸通过端部限位螺钉无级微调 0~45°慢开度，实现缓慢抽真空或缓慢破真空，单阀替代“切断阀+旁路针阀”双阀方案，避免气流突变损伤晶圆、光学膜层或致锂电电解液飞溅；密封件标准 FKM氟橡胶O型圈（阀体与轴封双层密封），可选 Kalrez全氟醚（耐强酸/卤素/150℃烘烤），内部泄漏 ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s、轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s（氦质谱检漏级），适配 10⁵Pa常压～10⁻⁵Pa高真空，阀体耐烘烤 ≤150℃（气缸环境温度≤40℃，可配隔热罩）。

执行机构为 齿轮齿条式双气缸（主全开缸+副慢开缸），工作气源 0.4～0.6MPa洁净无油干燥压缩空气，气缸开启推力倍增且行程两端自带末端气垫缓冲，启闭无剧烈撞击、低噪音，标准寿命≥100万次；标配开/关及慢开段微动开关（NPN/PNP可选）直连PLC实现三位置**联锁，支持DC24V两位五通电磁阀远程时序控制；无安装流向与姿态限制（水平/垂直/倒置均可），超薄阀体面间距极短节省真空腔外围空间，金属一体结构可导除静电。接口标配 JIS65日标法兰，兼容KF63/ISO63/CF63转换。

相较 B-J65（单气缸纯通断），BH-J65 增加0~45°两段慢开功能，适防冲击精密工艺；相较电动BAR/BH调节系列，其为纯气动两段定点控制（非连续调节），结构更简、故障更低、响应快（≤1s）。出厂于无尘室组装，逐台经氦检漏、气密、开度标定、开关寿命全项检测，是中大通径（65A）真空/压力管路中“超薄大通导、两段快慢控、低漏率、任意安装”的核心气动隔断与缓流元件。

产品资料

MIYUKI美幸辉 BH-J65 密封气动蝶阀玉崎现货 自动且快速地优化PID参数。 支持简单且用户友好的触摸屏操作，并可远程控制**系统。 安静的阀门操作确保了控制的稳定。

MIYUKI美幸辉 BH-J65 密封气动蝶阀玉崎现货自动且快速地优化PID参数。支持简单且用户友好的触摸屏操作，并可远程控制**系统。安静的阀门操作确保了控制的稳定。